氣路系統(tǒng)是專為高精度分析測(cè)試設(shè)備所用高純工作氣體的傳輸而設(shè)計(jì),系統(tǒng)需要為分析設(shè)備提供壓力、流量穩(wěn)定且經(jīng)過長(zhǎng)距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設(shè)備的使用要求。實(shí)驗(yàn)室氣路系統(tǒng)主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)、氣點(diǎn)、監(jiān)控報(bào)警系統(tǒng)組成。